| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（１） |
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| 【技術分類】 |
| ２−２ 真空ポンプ |
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| 【技術の名称】 |
| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（１） |
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| 【技術内容】 |
| ターボ分子ポンプは、極めて精密な扇風機のような構造で、図１のような羽根を高速で回転させることで気体分子を押しやり圧縮して外に排出する。クリーンな超高真空が得られることからチャンバーの真空引きなどに使用される。ただし、このポンプでは大気圧まで圧縮できないので、このポンプの後にさらに油回転ポンプなどのあら引きポンプをつないで使用される。 |
| 実際の製品例として、図２に示したタイプは、300mmウエハや１m角のガラス基板などの大型化に向けて開発された製品で、ガス流量重視の仕様・性能を持ち、プロセスを行う領域において従来機種に対して50％のパフォーマンスアップを実現している。主な用途は半導体製造装置や液晶ディスプレイパネル製造装置のドライエッチング、CVD、スパッタ、イオン注入機などとなっている。 |
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| 【図】 |
| 図１ 回転翼の外観 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、表題：「製品情報 Product Line-up」、関連箇所：１頁、図、「online」、掲載年月日：記載無し、掲載者：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、掲載場所：BOCエドワーズジャパン ホームページ、ターボ分子ポンプ 製品情報 Product Line-up、検索日：2003年11月３日、情報源およびアドレス：http://www.bocedwards-jp.com/products.html |
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| 図２ 構造断面図 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、表題：「Aシリーズ製品概要」、関連箇所：１頁、構造断面図、「online」、掲載年月日：記載無し、掲載者：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、掲載場所：BOCエドワーズジャパン ホームページ、ターボ分子ポンプ 製品情報 Product Line-up、検索日：2003年11月３日、情報源およびアドレス：http://www.bocedwards-jp.com/a_series/a_overview.html |
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| 【応用分野】 |
| ドライエッチング、CVD、スパッタ、イオン注入機などの真空ポンプ |
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| 【出典／参考資料】 |
| 出典（引用情報）：著者の氏名：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、表題：「製品情報 Product Line-up」、関連箇所：１頁、「online」、掲載年月日：記載無し、掲載者：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、掲載場所：ビーオーシーエドワーズジャパン ホームページ、ターボ分子ポンプ 製品情報 Product Line-up、検索日：2003年11月３日、情報源およびアドレス：http://www.bocedwards-jp.com/products.html |
| 出典（引用情報）：著者の氏名：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、表題：「Aシリーズ製品概要」、関連箇所：１頁、「online」、掲載年月日：記載無し、掲載者：ビーオーシーエドワーズ テクノロジーズ株式会社、掲載場所：ビーオーシーエドワーズジャパン ホームページ、ターボ分子ポンプ 製品情報 Product Line-up、検索日：2003年11月３日、情報源およびアドレス：http://www.bocedwards-jp.com/a_series/a_overview.html |
