| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（２） |
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| 【技術分類】 |
| ２−２ 真空ポンプ |
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| 【技術の名称】 |
| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（２） |
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| 【技術内容】 |
| ここで取り上げたターボ分子ポンプは超高真空対応型のターボ分子ポンプで、長寿命、軸受部メンテナンスフリーを目的として、上部に永久磁石による非接触の磁気軸受、下部にフッ素油を使用したピボット軸受を採用し、高速回転時の機械的接触を完全に無くしている。これによりベアリング交換、オイル交換を不要とし、長寿命の軸受部としメンテナンスフリーを実現した。独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと高性能軸受によって、高速回転を可能にし、水素、ヘリウムなどの分子量の小さなガスに対して高い圧縮比を実現しているのが特長である。クリーンな真空を生み出すために、ピボット軸受と化学的に安定で飽和蒸気圧の低いフッ素油の採用により、磁気浮上型に限りなく近いオイルフリーな環境を実現している（飽和蒸気圧は20℃で10-11Pa台）。また、ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、極めて優れた低騒音、低振動を実現している。 |
| また、このポンプのシリーズには、動静翼特殊表面処理と窒素パージポートが標準装備となっているケミカル仕様のタイプや、さらにアルゴン（Ar）プロセスにおける耐力向上を目的に特殊な表面処理、ケーシングの水冷、パワーサプライのパワーアップを図り、運転領域を低真空側にひろげた機種もある。 |
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| 【図】 |
| 図１ 断面図 |
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| 出典：「本標準技術集向け提供資料 ターボ分子ポンプ」、断面図 UTMシリーズ、林 俊雄、アルバック株式会社、2003年11月 |
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| 図２ 排気流量の圧力依存性と排気速度の圧力依存性 |
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| 出典：「本標準技術集向け提供資料 ターボ分子ポンプ」、排気流量の圧力依存性と排気速度の圧力依存性 UTMシリーズ、林 俊雄、アルバック株式会社、2003年11月 |
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| 表１ 基本仕様 |
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| 出典：「本標準技術集向け提供資料 ターボ分子ポンプ」、排気流量の圧力依存性と排気速度の圧力依存性 UTMシリーズ、林 俊雄、アルバック株式会社、2003年11月 |
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| 【出典／参考資料】 |
| 出典：「本標準技術集向け提供資料 ターボ分子ポンプ」、UTMシリーズ、林 俊雄、アルバック株式会社、2003年11月 |
