| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（４） |
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| 【技術分類】 |
| ２−２ 真空ポンプ |
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| 【技術の名称】 |
| ２−２−３ ターボ分子ポンプ（４） |
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| 【技術内容】 |
| ここで取り上げた個別技術は、磁気軸受け型のターボ分子ポンプである。軸受け部分が磁気によって浮いた形となっており、オイル、グリースなどは全く使用されておらず、クリーンな排気が可能である。図１にこのポンプの構造図を示す。 |
| このポンプの特長は、広域型で大流量排気ながらハーフラックサイズとコンパクトで、バッテリーレス、ターボ分子ポンプとケーブル、電源装置の組み合せには互換性があり、組み合せを変更した場合でも再調整は不要とメンテナンスが容易な設計となっている。 |
| また、電源装置は自己診断機能を搭載しており、異常検出時にはステータス表示灯によって、異常の原因が容易に発見できるようになっている。停電が発生した場合には、回生ブレーキをかけながら発電した電気で磁気浮上を継続し、安全にタッチダウンベアリングに収まるようになっている。タッチダウンベアリングも、260回の停電によるタッチダウンに耐えられるように設計されている。大気突入試験による大気突入後の再起動の確認がおこなわれており、オペレーションミスに対しても高い信頼性を有している。 |
| 通信機能も標準装備となっている。電源装置の外部信号は従来のEI-1002Mと互換性のある接点信号に加え、RS232C準拠のシリアルインタフェースを装備し、遠隔操作および回転数と電流値のモニターも可能となっている。 |
| 図２にこのポンプの到達圧力例を示す。また、図３に残留ガスの測定例を示す。これは、排気口側にアルゴンガスを導入したときの吸気口側の残留ガスの変化を示したもので、排気口側圧力133Pa以下では、Ar、H2成分を除いて吸気口側残留ガスの分圧に変化なく、安定した超高真空が得られていることが分かる。 |
| なお、このポンプには用途に応じて広域形ターボ分子ポンプと、広域ケミカル形ターボ分子ポンプ、水冷式と空冷式など多数の種類があるが、基本となるタイプとしては、排気速度N2で、190L/s、320L/s、420L/s、800L/s、1080L/s、2000L/s、3200L/sとなっている。 |
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| 【図】 |
| 図１ 構造図 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社島津製作所、表題：「島津磁気軸受形ターボ分子ポンプ」、関連箇所：５頁、ポンプ構造、「online」、掲載年月日：2002年、掲載者：株式会社島津製作所、掲載場所：株式会社島津製作所ホームページ、製品／技術総合案内、真空機器・真空応用装置、ターボ分子ポンプ、広域型（03シリーズ）ラインアップ、カタログ（PDF）、検索日：2003年11月3日、情報源およびアドレス：http://www.shimadzu.co.jp/tmp/ |
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| 図２ 到達圧力の測定例 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社島津製作所、表題：「島津磁気軸受形ターボ分子ポンプ」、関連箇所：４頁、到達圧力の測定、「online」、掲載年月日：2002年、掲載者：株式会社島津製作所、掲載場所：株式会社島津製作所ホームページ、製品／技術総合案内、真空機器・真空応用装置、ターボ分子ポンプ、広域型（03シリーズ）ラインアップ、カタログ（PDF）、検索日：2003年11月3日、情報源およびアドレス：http://www.shimadzu.co.jp/tmp/ |
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| 図３ 残留ガスの測定例 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社島津製作所、表題：「島津磁気軸受形ターボ分子ポンプ」、関連箇所：４頁、残留ガスの測定、「online」、掲載年月日：2002年、掲載者：株式会社島津製作所、掲載場所：株式会社島津製作所ホームページ、製品／技術総合案内、真空機器・真空応用装置、ターボ分子ポンプ、広域型（03シリーズ）ラインアップ、カタログ（PDF）、検索日：2003年11月3日、情報源およびアドレス：http://www.shimadzu.co.jp/tmp/ |
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| 【出典／参考資料】 |
| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社島津製作所、表題：「島津磁気軸受形ターボ分子ポンプ」、関連箇所：１頁〜19頁、「online」、掲載年月日：2002年、掲載者：株式会社島津製作所、掲載場所：株式会社島津製作所ホームページ、製品／技術総合案内、真空機器・真空応用装置、ターボ分子ポンプ、広域型（03シリーズ）ラインアップ、カタログ（PDF）、検索日：2003年11月3日、情報源およびアドレス：http://www.shimadzu.co.jp/tmp/ |
