| ２−４−３ ガス配管（１） |
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| 【技術分類】 |
| ２−４ ガス導入機器 |
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| 【技術の名称】 |
| ２−４−３ ガス配管（１） |
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| 【技術内容】 |
| 半導体製造装置においては、半導体デバイスの一層の微細化にともない、より高度なクリーン度が求められており、各プロセスに使用されるガスの純度だけでなく、その導入経路にあたる配管にも汚染源となることのないような高度なクリーン度が求められている。 |
| 半導体製造装置用のガス配管は、腐蝕性、不活性を問わずさまざまなガスが流されることから、チャンバーや配管継手、フランジなどと同じく、耐蝕性に優れ溶接が容易なステンレス製が広く普及している（配管ではSUS316鋼が主流）。 |
| 配管からの汚染は、ガスと接する管内表面の粗さや純度など製品自体の性能によるものと、組立て時の溶接にともなって発生する溶接スラグ、金属ヒュームなどが管内に残留してひきおこす汚染などがある。そのため、適切かつ高度な溶接技術が必要になるとともに、鋼材そのものの純度は、電解処理後に不純物が表面に表れたり、ヒュームの発生に繋がるため、製鋼メーカーにおいて純度向上への努力が続けられている。また、配管自体には、配管内表面は、電解研磨（EP処理）や酸化不動態処理などのさまざまな平滑化およびガス放出低減のための加工が施され、特殊な洗浄、乾燥の後、製品化されている。 |
| ガス配管にはさまざまな口径や種類があり、この分野で普及しているメーカーの製造工程を図２、図３に、洗浄工程を図３に示す。このメーカーでは、クリーンルーム内で洗浄をおこなっており、発塵防止のため、無人搬送車を導入して流通経路でのコンタミを少なくした搬送装置を導入し、徹底した塩害対策の実施とともに、前洗浄としての温純水浸漬洗浄、温超純水浸漬洗浄、超音波洗浄を併用しておこない、さらに、温超純水洗浄、高温PN2 乾燥をおこなったうえで、キャッピングまですべてクラス10 の清浄度にて実施している。 |
| 図１半導体・液晶プラント用配管の分類を示す。 |
- AP 管：酸洗管
- BA 管：光輝焼鈍管
- MPEP管：機械研磨処理(MP)された管内表面に軽く電解研磨処理(EP)を施し、研磨砥粒などの不純物を除去した管
- EP 管：電解研磨管
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| 【図】 |
| 図１ 半導体・液晶プラント用配管の分類 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：５頁、２.クリーンパイプの分類 図、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
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| 図２ 継目無ステンレス鋼管の製造工程 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：７頁、４.製造工程 ４.１ 継目無ステンレス鋼管、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
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| 図３ 溶接ステンレス鋼管の製造工程 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：８頁、４.製造工程 ４．２ 溶接ステンレス鋼管《KUZEWEL》、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
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| 図４ ステンレス鋼管の洗浄工程 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：９頁、５.精密洗浄工程 図、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
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| 表１ 半導体・液晶プラント用鋼管の内表面粗さの保証値 |
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| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：21頁、７.５ 内表面粗さ保証値、表７.５.１ 半導体･液晶プラント用、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
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| 【応用分野】 |
| 半導体･液晶プラント用、バイオ･医薬･食品プラント用などのクリーン度が要求されるプラント用配管 |
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| 【出典／参考資料】 |
| 出典（引用情報）：著者の氏名：株式会社久世ベローズ工業所、表題：「シームレスクリーンパイプ＆KUZE WELLクリーンパイプ」、関連箇所：１頁〜24頁、「online」、掲載年月日：不明、掲載者：株式会社久世ベローズ工業所、掲載場所：株式会社久世ベローズ工業所ホームページ、製品案内、鋼管部門、カタログ、KUZEクリーンパイプ、検索日：2004年１月13日、情報源およびアドレス：http://kuzepipe.on.arena.ne.jp/stainless-j/pre.htm |
