委員名簿

平成１５年度標準技術集「半導体製造装置関連真空・クリーン化技術」作成委員

（敬称略、所属・役職等は平成１６年２月現在）

	財満　鎭明	名古屋大学先端技術共同研究センター　教授　工学博士
	林　俊雄	株式会社アルバック　半導体技術研究所　第１研究部長　理学博士
	細川　直吉	アネルバ株式会社　主席技師長　工学博士
	渡辺　修	芝浦メカトロニクス株式会社　ファインメカトロニクス事業部　副事業部長半導体洗浄装置営業部長

本技術集の作成にあたっては、特許庁からの請け負いにより、株式会社旭リサーチセンターが実施した平成１５年度標準技術集作成事業（テーマ：半導体製造装置関連真空・クリーン化技術）の中で行った検討と、特にそのために設けられた上記委員会のアドバイスを活用した。