本技術集の構成

本技術集の構成

１．本技術集は、半導体製造装置関連真空・クリーン化技術に関する技術を以下の分野に大別して編集した。

（技術分野）

１真空･クリーン化技術が使用される半導体製造装置

２真空チャンバー外で使用される真空･クリーン化技術応用部品

３真空チャンバー内で使用される真空･クリーン化技術応用部品

４その他クリーン化技術

２．上記の技術分野を技術分類毎に細分化し、該当する技術を収集整理した。一つの技術毎に【技術分類】、【技術の名称】、【技術内容】、【図】、【応用分野】、【出典／参考資料】の各項目を設け、技術を解説した。