| 基板の材質 |
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| 【技術分類】 |
| ２−Ａ ガラス基板 |
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| 【技術の名称】 |
| ２−Ａ−１ 基板の材質 |
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| 【技術内容】 |
| ガラスに何らかの機能を付与した板状のものを一般に「基板ガラス」と総称している。基板ガラスのほとんどが光・電子分野でデバイスの材料として使用されており、用途によって平板ディスプレイ用、ディスク用、太陽電池用、フォトマスク用、IC用等に分類される。用途に応じた特性を持つ組成のガラスが選択されている。太陽電池用には基板ガラスの表面に透明導電膜をつけてデバイスに供される。透明導電膜は、真空蒸着法、スパッター法、CVD法等の方法で付けられ、SnO2膜とITO（In2O3＋SnO2）膜が主に使用されている。基板ガラスに要求されるもう一つの特性は、表面の高平坦性である。この目的のためフロート法、フュージョン法等が使用されている。 |
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| 【図】 |
| 表１ 代表的な基板ガラスと主な用途 |
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| 出典：「ニューガラス〈その機能と応用〉」、（1989年）、山根正之他著、財団法人 日本規格協会発行、140頁 表4.1.6 代表的な基板ガラスと主な用途。 |
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| 表１の説明：代表的な基板ガラスの組成と主な用途を示した。太陽電池用としてはソーダライム、普通板ガラスが用いられている。 |
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| 図１ フロート法製板法 |
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| 出典：「ニューガラス〈その機能と応用〉」、（1989年）、山根正之他 著、財団法人 日本規格協会 発行、141頁 図4.1.27 フロート法製板法 |
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| 図１の説明：フロート法による製板法の概略を示す。 |
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| 【出典／参考資料】 |
| 「ニューガラス〈その機能と応用〉」、（1989年）、山根正之他著、財団法人 日本規格協会発行、140頁〜142頁 |
