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導電膜

【技術分類】

２−Ｂ  フィルム基板及びフレキシブル基板

【技術の名称】

２−Ｂ−２  導電膜

【技術内容】

プラスチックフィルム基板表面に蒸着されたITO系透明導電膜の比抵抗は、ガラスの場合（10〜20ｍΩ・cm）と異なり40〜100ｍΩ・cm程度である。これは基板温度を上げることが出来ず結晶化が進まないことによる。製膜法には１）酸素雰囲気中でITOを蒸着しその後大気中で加熱酸化する蒸着法、２）アルゴンガス放電によりターゲットからITOをスパッタするスパッター法及び３）圧力勾配型アーク放電ガンを用いたイオンプレーティング法が行われている。ITOフィルムの一般特性（導電性、透明性、抵抗値の加熱変化、経時変化、密着性、濡れ性、エッチング性など）について記述されている。

【図】

表１  ITOフィルムの用途

用途 タイプ 表面抵抗 Ω/□ 全光透過率 ％ PET厚み μm 備考 ◎無機分散型EL 封止型 100〜300 ≧80 75、125 ITO表面にトップコート、PET面易接着処理 封止レス型 100〜300 ≧80 75、125、188   ◎透明TP セグメント型 100〜300 80〜85 125、188 PET面ハードコート アナログ型 300〜500 85〜90 125、188 表面抵抗の均一性が必要、PETハードコート ◎透明電磁波シールド 汎用タイプ 50〜300 80〜85 125   高透明タイプ 50〜300 85〜90 125 ITO表面にトップコート ○透明ヒーター   10〜100 80前後     ○フレキシブルLCD TN、STN 40〜200 80前後 各種 エッチング性がポイント、基板はPET以外 ☆透明電波吸収体   10＋κ   125 κは計算で算出   注）  ◎は主用途、○は少量、☆は今後の用途

出典：「透明電導性フイルム(OTEC)」、「株式会社トービ・ホームページ」「online」http://www.tobinet.co.jp/otec.htm、検索日：（2004年２月５日）  表１  ITOフイルムの用途

表１の説明：各種用途に使用されるITOフィルムの一般特性を示す。

表２  OTECのグレード一覧表

品番 フィルム厚み μm 物性 用途 表面抵抗 Ω/□ 透過率 (％) EL TP EMI FH LCD OTEC-070 125  188 7 76       ●   OTEC-110 125  188 10 80       ●   OTEC-120 125  188 20 82       ●   OTEC-130 125  188 30 83       ● ● OTEC-150 125  188 50 83     ● ● ● OTEC-180 125  188 80 79 ●   ● ● ● OTEC-210 75  125  188 100 80 ● ● ● ● ● OTEC-220 75  125  188 200 83 ● ● ●   ● OTEC-230 75  125  188 300 84 ● ● ●     OTEC-250 75  100  125 500 86 ● ●       備考 PETフィルム 抵抗：表面抵抗 透過率：全光線透過率 EL：ELフラットランプ TP：タッチパネル EMI：透明電磁波シールド FH：透明フィルムヒーター LCD：フィレキシブルLCD

出典：「透明電導性フイルム(OTEC)」、「株式会社トービ・ホームページ」「online」http://www.tobinet.co.jp/otec.htm、検索日：（2004年２月５日）  表３  OTECのグレード一覧表

表２の説明：OTEC各グレードについてフィルム厚、表面抵抗、透過率を示した。

【出典／参考資料】

「透明電導性フイルム(OTEC)」、「株式会社トービ・ホームページ」「online」http://www.tobinet.co.jp/otec.htm、検索日：（2004年２月５日）   「コーティングのすべて」、（1999年）、守田幸信著、加工技術研究会発行   「フィルムの分析評価技術」、（2003年）、守田幸信著、（株）情報機構発行

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