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表面構造の原子領域分析

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はじめに
本技術集の構成
利用上の留意事項
調査対象技術の樹系図
調査対象技術の技術概要(PDF形式 42KB）
付属資料
	SPM略語表(PDF形式 12KB）
	SPM同義語あるいは類語SPM(PDF形式 8KB）

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１				走査型プローブ顕微鏡の種類
	１−Ａ			トンネル電流を検出・利用するもの−STM群
		１−Ａ−１		走査型トンネル顕微鏡（STM）の基本型
			１−Ａ−１−ａ	走査型トンネル顕微鏡（STM）
		１−Ａ−２		走査型トンネル分光 (STS)
			１−Ａ−２−ａ	Current Imaging Tunneling Spectroscopy (CITS)
			１−Ａ−２−ｂ	Tunneling Barrier Height Imaging（TBI）
		１−Ａ−３		磁気に関与するもの
			１−Ａ−３−ａ	スピン偏極-STM
		１−Ａ−４		熱に関与するもの
			１−Ａ−４−ａ	走査型熱プロファイラー（STP）
		１−Ａ−５		光に関与するもの
			１−Ａ−５−ａ	Photon Assisted-STM（光励起STM）
			１−Ａ−５−ａ１	レーザ励起走査型トンネル顕微鏡（LD-STM）
			１−Ａ−５−ａ２	STM-電場変調分光法
			１−Ａ−５−ｂ	発光STM
		１−Ａ−６		電位に関与するもの
			１−Ａ−６−ａ	Scanning Tunneling Potentiometry（STP）
			１−Ａ−６−ｂ	走査型化学ポテンシャル顕微鏡（SCPM）
		１−Ａ−７		その他
			１−Ａ−７−ａ	Ballistic Electron Emission Microscopy(BEEM)
			１−Ａ−７−ｂ	原子追跡走査トンネル顕微鏡
			１−Ａ−７−ｃ	走査型変位電流顕微鏡（SDM）
	１−Ｂ			原子・分子間の力を検出・利用するもの−AFM群
		１−Ｂ−１		原子間力顕微鏡（AFM）の基本型
			１−Ｂ−１−ａ	コンタクトモード-AFM（C-AFM）
			１−Ｂ−１−ｂ	ノンコンタクトモード-AFM（NC-AFM）
			１−Ｂ−１−ｃ	タッピングモード-AFM
			１−Ｂ−１−ｄ	パルスフォースモード-AFM
		１−Ｂ−２		メカニカルな（機械的）力に関わるもの
			１−Ｂ−２−ａ	摩擦力顕微鏡（FFM）
			１−Ｂ−２−ａ１	摩擦力顕微鏡（水平力顕微鏡）
			１−Ｂ−２−ａ２	横振動モードAFM（LM-AFM）
			１−Ｂ−２−ｂ	Force Modulation Microscopy（FMM）
			１−Ｂ−２−ｂ１	Force Modulation Microscopy原型
			１−Ｂ−２−ｂ２	超音波力顕微鏡（Ultrasonic Force Microscopy）
			１−Ｂ−２−ｃ	Adhesion Force Microscopy
			１−Ｂ−２−ｄ	走査型ずれ応力顕微鏡（SSSM）
		１−Ｂ−３		電気的な力に関わるもの
			１−Ｂ−３−ａ	静電気力顕微鏡
			１−Ｂ−３−ｂ	走査型ファンデルワールス力顕微鏡
			１−Ｂ−３−ｃ	Kelvin Probe Force Microscopy
			１−Ｂ−３−ｃ１	Kelvin Probe Force Microscopy‐1
			１−Ｂ−３−ｃ２	Kelvin Probe Force Microscopy‐2
			１−Ｂ−３−ｄ	走査型マクスウェル応力顕微鏡（SMM）
			１−Ｂ−３−ｅ	Piezoresponse-Scanning Force Microscope
			１−Ｂ−３−ｆ	走査型非線形性誘電率顕微鏡（SNDM）
		１−Ｂ−４		磁気的な力に関わるもの
			１−Ｂ−４−ａ	磁気力顕微鏡（MFM）
			１−Ｂ−４−ａ１	磁気力顕微鏡（基本型）
			１−Ｂ−４−ａ２	Tunneling-Stabilized Magnetic Force Microscopy
			１−Ｂ−４−ａ３	高周波磁気力顕微鏡（HF-MFM）
			１−Ｂ−４−ｂ	走査型磁気抵抗顕微鏡（SMRM）
			１−Ｂ−４−ｃ	磁気共鳴力顕微鏡(MRFM)
			１−Ｂ−４−ｄ	走査型SQUID顕微鏡（SSM）
			１−Ｂ−４−ｅ	走査型ホール素子顕微鏡（SHPM）
	１−Ｃ			光波を検出・利用するもの−SNOM群
		１−Ｃ−１		走査型近接場光顕微鏡 (SNOM)の基本型
			１−Ｃ−１−ａ	SNOM原型（透過型）
			１−Ｃ−１−ｂ	集光モード走査型光学顕微鏡
			１−Ｃ−１−ｃ	フォトン走査型トンネル顕微鏡（PSTM）
			１−Ｃ−１−ｄ	無開口近接場顕微鏡（Apertureless SNOM）
			１−Ｃ−１−ｅ	Backscattering Near-Field Optical Microscopy
			１−Ｃ−１−ｆ	反射モード近接場光走査顕微鏡（RNFOS）
			１−Ｃ−１−ｇ	照射−集光モードSNOM
		１−Ｃ−２		蛍光を利用するもの
			１−Ｃ−２−ａ	蛍光近接場走査型光学顕微鏡
		１−Ｃ−３		偏光を利用するもの
			１−Ｃ−３−ａ	近接場磁気光学顕微鏡
			１−Ｃ−３−ｂ	複屈折SNOM
			１−Ｃ−３−ｃ	走査型近接場エリプソメトリー顕微鏡(SNEM)
		１−Ｃ−４		光電相互作用を利用するもの
			１−Ｃ−４−ａ	２次高調波SNOM
		１−Ｃ−５		各種電磁波を利用するもの
			１−Ｃ−５−ａ	紫外光SNOM
			１−Ｃ−５−ｂ	赤外光SNOM
			１−Ｃ−５−ｃ	自由電子レーザ光近接場顕微鏡
			１−Ｃ−５−ｄ	ミリ波帯近接場顕微鏡
		１−Ｃ−６		その他
			１−Ｃ−６−ａ	レーザトラッピング走査型近接場光顕微鏡
	１−Ｄ			容量を検出・利用するもの
		１−Ｄ−１		走査型容量顕微鏡（SCaM)
			１−Ｄ−１−ａ	SCaM（キャパシタンスセンサー利用型）
			１−Ｄ−１−ｂ	SCaM（STM利用型）
			１−Ｄ−１−ｃ	SCaM（AFM利用型）
	１−Ｅ			熱を検出・利用するもの
		１−Ｅ−１		Scanning Thermal Microscope (SThM)
			１−Ｅ−１−ａ	SThM (AFM利用型)
	１−Ｆ			音響・超音波を検出・利用するもの
		１−Ｆ−１		音響に関わるもの
			１−Ｆ−１−ａ	トンネル音響顕微鏡（TAM）
		１−Ｆ−２		超音波に関わるもの
			１−Ｆ−２−ａ	走査型超音波探針顕微鏡（SUTM）
	１−Ｇ			化学的相互作用や反応を検出・利用するもの
		１−Ｇ−１		電気化学に関わるもの
			１−Ｇ−１−ａ	走査型イオンコンダクタンス顕微鏡（SICM）
			１−Ｇ−１−ｂ	走査型電気化学顕微鏡 (SECM)
			１−Ｇ−１−ｃ	電気化学発光SNOM
		１−Ｇ−２		その他
			１−Ｇ−２−ａ	化学力顕微鏡（CFM）
	１−Ｈ			複合型
		１−Ｈ−１		各種SPM複合化による多機能SPM
			１−Ｈ−１−ａ	STMとAFMの複合型（個別名称を有する型）
			１−Ｈ−１−ａ１	コンダクティングAFM
			１−Ｈ−１−ａ２	Scanning Spread Resistance Microscopy (SSRM)
			１−Ｈ−１−ｂ	その他の各種SPM複合型
			１−Ｈ−１−ｂ１	SICMとSNOMの複合型
			１−Ｈ−１−ｂ２	STMとAFMの複合型
			１−Ｈ−１−ｂ３	AFMとSNOM複合型−１
			１−Ｈ−１−ｂ４	AFMとSNOM複合型−２
		１−Ｈ−２		従来型の顕微鏡との複合
			１−Ｈ−２−ａ	光学顕微鏡との複合
			１−Ｈ−２−ａ１	倒立顕微鏡との組み合わせ
			１−Ｈ−２−ａ２	共焦点顕微鏡とAFMの複合
			１−Ｈ−２−ａ３	光学顕微鏡との複合化（レンズ中心軸への探針取り付け）
			１−Ｈ−２−ａ４	光学顕微鏡レボルバー取り付け型
			１−Ｈ−２−ｂ	電子顕微鏡への組み込み
			１−Ｈ−２−ｂ１	走査型電子顕微鏡（SEM）への組み込み
			１−Ｈ−２−ｂ２	透過型電子顕微鏡（TEM）への組み込み−１
			１−Ｈ−２−ｂ３	透過型電子顕微鏡（TEM）への組み込み−２
		１−Ｈ−３		他の表面分析機器との複合
			１−Ｈ−３−ａ	電気化学
			１−Ｈ−３−ａ１	電気化学STM（EC-STM）
			１−Ｈ−３−ａ２	電気化学AFM（EC-AFM）
			１−Ｈ−３−ｂ	STM/FIM/AP複合装置
			１−Ｈ−３−ｃ	ラマン分光器との複合
		１−Ｈ−４		マルチプローブSPM
			１−Ｈ−４−ａ	複数のカンチレバー・プローブを有するSPM
			１−Ｈ−４−ａ１	２探針−STM
			１−Ｈ−４−ａ２	３探針−AFM
			１−Ｈ−４−ａ３	４探針−STM
			１−Ｈ−４−ａ４	４ｘ２配置カンチレバーアレイAFM
			１−Ｈ−４−ｂ	原子マニピュレータ機能付きTEM−SPM複合機
	１−Ｉ			その他
			１−Ｉ−１−ａ	Scanning Lorentz Force Microscope
２				走査型プローブ顕微鏡測定対象
	２−Ａ			無機導電体
		２−Ａ−１		無機導電体の測定例と関連SPM
	２−Ｂ			無機半導体
		２−Ｂ−１		無機半導体の測定例と関連SPM
	２−Ｃ			無機絶縁体
		２−Ｃ−１		無機絶縁体の測定例と関連SPM
	２−Ｄ			磁性体
		２−Ｄ−１		磁性体の測定例と関連SPM
	２−Ｅ			有機材料
		２−Ｅ−１		有機材料の測定例と関連SPM
	２−Ｆ			生物試料
		２−Ｆ−１		生物試料の測定例と関連SPM
３				走査型プローブ顕微鏡の要素技術
	３−Ａ			探針・プローブ・カンチレバー
		３−Ａ−１		各種導電性探針
			３−Ａ−１−ａ	STM探針の電解研磨
			３−Ａ−１−ｂ	電気化学STM用絶縁コート探針
		３−Ａ−２		MFM用探針
			３−Ａ−２−ａ	MFM用探針の作製
		３−Ａ−３		SNOM用プローブ
			３−Ａ−３−ａ	光ファイバープローブ
		３−Ａ−４		カンチレバー一体型
			３−Ａ−４−ａ	AFM用マイクロカンチレバーの作製
			３−Ａ−４−ｂ	ピエゾ薄膜素子付き
			３−Ａ−４−ｃ	ピエゾ抵抗素子およびピエゾアクチュエータ付き
			３−Ａ−４−ｄ	導波路、開口部およびフォトセンサー一体化
			３−Ａ−４−ｅ	MOSFET、応力センサーおよびアクチュエータ集積化
			３−Ａ−４−ｆ	半導体レーザ付
		３−Ａ−５		カンチレバープローブアレイ型
			３−Ａ−５−ａ	１次元アレイ型
			３−Ａ−５−ｂ	２次元アレイ型
			３−Ａ−５−ｃ	高機能化カンチレバープローブアレイ
		３−Ａ−６		カーボンナノチューブ(CNT)探針
			３−Ａ−６−ａ	カーボンナノチューブ探針の作製
			３−Ａ−６−ｂ	CNT探針付きカンチレバーのウエハー単位の製造
		３−Ａ−７		化学修飾探針
			３−Ａ−７−ａ	プローブ先端の化学修飾
		３−Ａ−８		有機分子堆積探針
			３−Ａ−８−ａ	Electron-Beam Deposited（EBD）探針
		３−Ａ−９		原子・分子修飾探針
			３−Ａ−９−ａ	原子・分子の修飾
		３−Ａ−１０		その他の探針
			３−Ａ−１０−ａ	走査型サーマル顕微鏡用探針
			３−Ａ−１０−ｂ	ウイスカー探針
			３−Ａ−１０−ｃ	ガラスピペット探針（蛍光物質付き）
	３−Ｂ			プローブ駆動と信号検出
		３−Ｂ−１		駆動素子
			３−Ｂ−１−ａ	粗動・微動駆動素子材料（ピエゾ素子等）
			３−Ｂ−１−ｂ	粗動・微動駆動素子の構成
			３−Ｂ−１−ｂ１	ピエゾ駆動素子の構成−積層型
			３−Ｂ−１−ｂ２	ピエゾ駆動素子の構成−チューブ型
			３−Ｂ−１−ｂ３	ピエゾ駆動素子の構成−直交配置型
			３−Ｂ−１−ｃ	ヒステリシス補正およびクリープ対応
		３−Ｂ−２		プローブまたは試料の走査
			３−Ｂ−２−ａ	プローブ・試料台のアプローチ
			３−Ｂ−２−ａ１	粗動・微動機構−１
			３−Ｂ−２−ａ２	粗動・微動機構−２
			３−Ｂ−２−ｂ	走査範囲
			３−Ｂ−２−ｃ	走査方式
			３−Ｂ−２−ｃ１	STM−ホッピングモード
			３−Ｂ−２−ｃ２	AFM−ホッピングモード
			３−Ｂ−２−ｄ	１次元ライン走査
			３−Ｂ−２−ｄ１	２パス方式
			３−Ｂ−２−ｄ２	１次元ライン走査、Ｘ−ｔ表示
			３−Ｂ−２−ｅ	２次元走査
			３−Ｂ−２−ｅ１	ピエゾ素子Ｘ−Ｙ軸走査
			３−Ｂ−２−ｅ２	２次元Ｘ−Ｙ走査軸の回転
			３−Ｂ−２−ｆ	高速走査
			３−Ｂ−２−ｇ	プローブの加振
			３−Ｂ−２−ｇ１	ピエゾ素子による加振
			３−Ｂ−２−ｇ２	磁気力による加振
			３−Ｂ−２−ｇ３	チューニングフォーク（音叉）による加振
			３−Ｂ−２−ｇ４	外部超音波による加振
		３−Ｂ−３		プローブ信号検出
			３−Ｂ−３−ａ	微少トンネル電流の検出
			３−Ｂ−３−ｂ	微小力（微小変位）の検出
			３−Ｂ−３−ｂ１	光てこ方式
			３−Ｂ−３−ｂ２	光ファイバー干渉計による測定
			３−Ｂ−３−ｂ３	フォーカス誤差検出方式による測定
			３−Ｂ−３−ｂ４	ピエゾ抵抗素子付きカンチレバー
			３−Ｂ−３−ｂ５	シアフォース制御
			３−Ｂ−３−ｂ６	音叉利用ピエゾ抵抗シアフォースセンサー
			３−Ｂ−３−ｃ	SPMにおける光信号の各種検出法
			３−Ｂ−３−ｃ１	PSDによるアレイ型カンチレバーの変位検出
			３−Ｂ−３−ｃ２	SNOMにおける積分球の利用
			３−Ｂ−３−ｃ３	SNOMにおける楕円鏡の利用
	３−Ｃ			信号処理とデータ処理
		３−Ｃ−１		検出電気信号処理
			３−Ｃ−１−ａ	アナログ処理回路
			３−Ｃ−１−ｂ	ディジタル処理回路
			３−Ｃ−１−ｃ	交流信号処理回路
			３−Ｃ−１−ｃ１	振幅制御
			３−Ｃ−１−ｃ２	周波数制御
			３−Ｃ−１−ｃ３	位相信号処理
			３−Ｃ−１−ｃ４	Active Q Feedback
		３−Ｃ−２		データ画像処理
			３−Ｃ−２−ａ	画像表示
			３−Ｃ−２−ｂ	画像解析
			３−Ｃ−２−ｂ１	粗さ解析
			３−Ｃ−２−ｂ２	空間周波数解析
			３−Ｃ−２−ｂ３	相関関数解析
			３−Ｃ−２−ｂ４	粒子径解析
			３−Ｃ−２−ｂ５	フラクタル解析
			３−Ｃ−２−ｂ６	表面積解析
			３−Ｃ−２−ｃ	データ加工
			３−Ｃ−２−ｃ１	像の傾き補正やノイズ修正
			３−Ｃ−２−ｃ２	フィルタリング
			３−Ｃ−２−ｃ３	デコンボリューション
	３−Ｄ			測定環境・測定支援技術
		３−Ｄ−１		環境制御
			３−Ｄ−１−ａ	超高真空環境
			３−Ｄ−１−ｂ	温度
			３−Ｄ−１−ｂ１	温度可変SPM（ドリフトフリー・ステージ）
			３−Ｄ−１−ｂ２	低温‐UHV‐NC‐AFM
			３−Ｄ−１−ｃ	湿度雰囲気制御
			３−Ｄ−１−ｄ	磁場中測定
			３−Ｄ−１−ｅ	溶液中測定
			３−Ｄ−１−ｆ	ガス雰囲気
			３−Ｄ−１−ｆ１	雰囲気制御
			３−Ｄ−１−ｆ２	高圧環境下
			３−Ｄ−１−ｆ３	プラズマ環境下
			３−Ｄ−１−ｇ	光照射
			３−Ｄ−１−ｈ	応力下の試料測定
		３−Ｄ−２		試料調整
			３−Ｄ−２−ａ	試料表面処理
			３−Ｄ−２−ａ１	試料の劈開
			３−Ｄ−２−ａ２	試料のフラッシング
			３−Ｄ−２−ａ３	薄膜形成（MBE）
		３−Ｄ−３		プローブ・試料の調整
			３−Ｄ−３−ａ	試料・プローブ交換
			３−Ｄ−３−ｂ	プローブ交換
		３−Ｄ−４		外部ノイズ対処
			３−Ｄ−４−ａ	防振
			３−Ｄ−４−ａ１	防振−SPMユニット部
			３−Ｄ−４−ａ２	防振−装置筐体
			３−Ｄ−４−ｂ	防音
			３−Ｄ−４−ｃ	断熱（高温STM）
			３−Ｄ−４−ｄ	電磁シールド
		３−Ｄ−５		標準・較正
			３−Ｄ−５−ａ	長さの較正
			３−Ｄ−５−ｂ	プローブ先端形状アーティファクトの較正
	３−Ｅ			装置サイズ
			３−Ｅ−１−ａ	インライン型SPM
			３−Ｅ−１−ｂ	通常型（研究室実験･評価用）SPM
			３−Ｅ−１−ｃ	スタンドアロン型
４				走査型プローブ顕微鏡応用技術
	４−Ａ			微細加工
		４−Ａ−１		加工対象
			４−Ａ−１−ａ	対象サイズ
			４−Ａ−１−ａ１	原子レベルの加工
			４−Ａ−１−ａ２	STMを用いた化学反応誘起（分子サイズ）
			４−Ａ−１−ａ３	STMを用いた有機分子重合細線の作製（分子集合体）
			４−Ａ−１−ｂ	微小デバイスの加工・作製
			４−Ａ−１−ｃ	バイオサンプルの加工
		４−Ａ−２		微細加工の原理・現象
			４−Ａ−２−ａ	機械的微細加工
			４−Ａ−２−ｂ	電界蒸発
			４−Ａ−２−ｃ	陽極酸化
			４−Ａ−２−ｄ	加熱
			４−Ａ−２−ｅ	光化学反応
		４−Ａ−３		SPM−リソグラフィー
			４−Ａ−３−ａ	STMによるリソグラフィー
			４−Ａ−３−ｂ	AFMによるリソグラフィー
			４−Ａ−３−ｃ	SNOMによるリソグラフィー
			４−Ａ−３−ｄ	光−ＡＦＭ複合リソグラフィー
		４−Ａ−４		特殊なプローブによるリソグラフィー
			４−Ａ−４−ａ	ディップペン・リソグラフィー
			４−Ａ−４−ｂ	カーボンナノチューブプローブ利用
	４−Ｂ			情報記録
		４−Ｂ−１		高密度記録
			４−Ｂ−１−ａ	STMを利用した高密度記録
			４−Ｂ−１−ｂ	AFMを利用した高密度記録
			４−Ｂ−１−ｃ	MFMを利用した高密度記録
			４−Ｂ−１−ｄ	熱変形加工を利用した高密度記録
			４−Ｂ−１−ｅ	SCaMによる微小電荷ドットの記録再生
			４−Ｂ−１−ｆ	近接場光による磁気記録
		４−Ｂ−２		従来法記録装置との組み合わせ
			４−Ｂ−２−ａ	AFM利用
			４−Ｂ−２−ｂ	SNOM利用
			４−Ｂ−２−ｃ	近接場光データ記録
		４−Ｂ−３		プローブアレイ利用新規記録方式
			４−Ｂ−３−ａ	２次元プローブアレイ利用−１
			４−Ｂ−３−ｂ	２次元プローブアレイ利用−２
		４−Ｂ−４		その他
			４−Ｂ−４−ａ	強誘電体記録
	４−Ｃ			カンチレバーセンサー
		４−Ｃ−１		極微質量の検出
			４−Ｃ−１−ａ	微量物質の検出
			４−Ｃ−１−ｂ	カンチレバーアレイを利用した人工嗅覚センサー
		４−Ｃ−２		生体物質反応の検出
			４−Ｃ−２−ａ	DNAハイブリダイゼーション反応の検出
			４−Ｃ−２−ｂ	抗原のバイオアッセイ
			４−Ｃ−２−ｃ	リガンド−リセプター反応
			４−Ｃ−２−ｄ	グルコースセンサー
		４−Ｃ−３		微量反応熱の検出
			４−Ｃ−３−ａ	化学反応微量発熱の検出
		４−Ｃ−４		その他
			４−Ｃ−４−ａ	表面応力の検出
	４−Ｄ			計測用SPM
		４−Ｄ−１		長さ
			４−Ｄ−１−ａ	測長用AFM
		４−Ｄ−２		角度
			４−Ｄ−２−ａ	角度測定
		４−Ｄ−３		硬さ測定
			４−Ｄ−３−ａ	ナノインデンテーション
		４−Ｄ−４		単一分子力の測定
			４−Ｄ−４−ａ	Single Molecule Force Spectroscopy
		４−Ｄ−５		原子・分子の分析
			４−Ｄ−５−ａ	NC−AFMによる原子・分子の分析
			４−Ｄ−５−ｂ	非弾性電子トンネルスペクトロスコピー

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［更新日  2003.3.28］