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表面構造の原子領域分析

 

付属資料

1 走査型プローブ顕微鏡の種類

1-A トンネル電流を検出・利用するもの-STM群

1-A-1 走査型トンネル顕微鏡(STM)の基本型

1-A-2 走査型トンネル分光 (STS)

1-A-3 磁気に関与するもの

1-A-4 熱に関与するもの

1-A-5 光に関与するもの

1-A-6 電位に関与するもの

1-A-7 その他

1-B 原子・分子間の力を検出・利用するもの-AFM群

1-B-1 原子間力顕微鏡(AFM)の基本型

1-B-2 メカニカルな(機械的)力に関わるもの

1-B-3 電気的な力に関わるもの

1-B-4 磁気的な力に関わるもの

1-C 光波を検出・利用するもの-SNOM群

1-C-1 走査型近接場光顕微鏡 (SNOM)の基本型

1-C-2 蛍光を利用するもの

1-C-3 偏光を利用するもの

1-C-4 光電相互作用を利用するもの

1-C-5 各種電磁波を利用するもの

1-C-6 その他

1-D 容量を検出・利用するもの

1-D-1 走査型容量顕微鏡(SCaM)

1-E 熱を検出・利用するもの

1-E-1 Scanning Thermal Microscope (SThM)

1-F 音響・超音波を検出・利用するもの

1-F-1 音響に関わるもの

1-F-2 超音波に関わるもの

1-G 化学的相互作用や反応を検出・利用するもの

1-G-1 電気化学に関わるもの

1-G-2 その他

1-H 複合型

1-H-1 各種SPM複合化による多機能SPM

1-H-2 従来型の顕微鏡との複合

1-H-3 他の表面分析機器との複合

1-H-4 マルチプローブSPM

1-I その他

2 走査型プローブ顕微鏡測定対象

2-A 無機導電体

2-A-1 無機導電体の測定例と関連SPM

2-B 無機半導体

2-B-1 無機半導体の測定例と関連SPM

2-C 無機絶縁体

2-C-1 無機絶縁体の測定例と関連SPM

2-D 磁性体

2-D-1 磁性体の測定例と関連SPM

2-E

有機材料

2-E-1 有機材料の測定例と関連SPM

2-F 生物試料

2-F-1 生物試料の測定例と関連SPM

3 走査型プローブ顕微鏡の要素技術

3-A 探針・プローブ・カンチレバー

3-A-1 各種導電性探針

3-A-2 MFM用探針

3-A-3 SNOM用プローブ

3-A-4 カンチレバー一体型

3-A-5 カンチレバープローブアレイ型

3-A-6 カーボンナノチューブ(CNT)探針

3-A-7 化学修飾探針

3-A-8 有機分子堆積探針

3-A-9 原子・分子修飾探針

3-A-10 その他の探針

3-B プローブ駆動と信号検出

3-B-1 駆動素子

3-B-2 プローブまたは試料の走査

3-B-3 プローブ信号検出

3-C 信号処理とデータ処理

3-C-1 検出電気信号処理

3-C-2 データ画像処理

3-D 測定環境・測定支援技術

3-D-1 環境制御

3-D-2 試料調整

3-D-3 プローブ・試料の調整

3-D-4 外部ノイズ対処

3-D-5 標準・較正

3-E 装置サイズ

4 走査型プローブ顕微鏡応用技術

4-A 微細加工

4-A-1 加工対象

4-A-2 微細加工の原理・現象

4-A-3 SPM-リソグラフィー

4-A-4 特殊なプローブによるリソグラフィー

4-B 情報記録

4-B-1 高密度記録

4-B-2 従来法記録装置との組み合わせ

4-B-3 プローブアレイ利用新規記録方式

4-B-4 その他

4-C カンチレバーセンサー

4-C-1 極微質量の検出

4-C-2 生体物質反応の検出

4-C-3 微量反応熱の検出

4-C-4 その他

4-D 計測用SPM

4-D-1 長さ

4-D-2 角度

4-D-3 硬さ測定

4-D-3-a ナノインデンテーション

4-D-5 原子・分子の分析

[更新日 2003年3月28日]

お問い合わせ

特許庁総務部企画調査課技術動向班

電話:03-3581-1101 内線2155

FAX:03-3580-5741

E-mail:PA0930@jpo.go.jp

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