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スタンドアロン型

技術分類

3-E 装置サイズ

技術の名称

3-E-1-c スタンドアロン型

技術内容

特定目的の試料作製機構や分析機器などが付加され、外見上複雑に見える場合もある。コンパクトサイズのスタンドアロン型AFM/LFMの構成概略図を図1に示す。プローブによる微小力の検出には、光てこ方式によりカンチレバーの変位を検出する。同時にLFM測定も行なうため、4分割フォトセルを用いているが、そのためのレーザ照射光路と反射光路は同一で、偏光したレーザ光、ビームスプリッター光学素子や1月4日波長板を用いて、照射光と反射光を分離している。ピエゾ素子の大きさは直径10mm、長さ16mmであり、5μmの範囲を走査することができる。
図2には全体の写真を示す。写真中央やや下の部分に円筒形のピエゾ素子がある。その上に写っているDual in line型の集積回路のサイズから分かるように、ピエゾ素子下のカンチレバー部から上方のレーザ素子までの距離は5cmとコンパクトな構成になっている。水平方向もほぼ同じサイズである。検出信号のフィードバック制御処理などのために、ケーブルのコネクターが設けられている。

図1 コンパクトサイズのスタンドアロン型AFMにおけるカンチレバーの変位検出光学系の概略図

コンパクトサイズのスタンドアロン型AFMにおけるカンチレバーの変位検出光学系の概略図

出典:Reprinted from Ultramicroscopy , Vol.42-44, M. Hipp, H. Bielefeldt, J. Colchero, O. Marti and J. Mlynek, A stand-alone scanning force and friction microscope, p.1499, Copyright (1992); with permission from Elsevier Science; Fig.1

図2 コンパクトサイズのスタンドアロン型AFMの写真

コンパクトサイズのスタンドアロン型AFMの写真

出典:Reprinted from Ultramicroscopy, Vol.42-44, M. Hipp, H. Bielefeldt, J. Colchero, O. Marti and J. Mlynek, A stand-alone scanning force and friction microscope, p.1500 Copyright (1992); with permission from Elsevier Science; Fig.2

出典/参考資料

A stand-alone scanning force and friction microscope; Ultramicroscopy, Vol.42-44, pp.1498-1503 (1992); M.Hipp, H. Bielefeldt, J.Colchero, O. Marti and J.Mlynek; Elsevier Science Publishers B.V.

[更新日 2003年3月28日]