G01Q10/00	走査または位置決め装置，すなわち，プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
G01Q10/02	粗動走査または粗動位置決め
G01Q10/04	微動走査または微動位置決め
G01Q10/045	｛自己駆動プローブ，すなわち，駆動手段がプローブ自体の一部であるもの，例．カンチレバープローブ上にある圧電手段｝
G01Q10/06	それらのための回路またはアルゴリズム
G01Q10/065	｛フィードバックメカニズム，すなわち，プローブを駆動するための信号がプローブ事態からの信号によって修正されるもの｝
G01Q20/00	プローブの動きまたは位置の監視
G01Q20/02	光学的手段によるもの
G01Q20/04	自己検知プローブ，すなわち，プローブ自身がその位置を示すような信号を発するもの，例．圧電ゲージ
G01Q30/00	走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段，例．表示装置またはデータ処理装置
G01Q30/02	非ＳＰＭ分析装置，例．ＳＥＭ[走査型電子顕微鏡]，分光計または光学顕微鏡
G01Q30/025	｛ＳＰＭに結合されている光学顕微鏡｝
G01Q30/04	表示装置またはデータ処理装置
G01Q30/06	エラー補償のためのもの
G01Q30/08	サンプルチェンバー内に所望の環境条件を確立し調節するための手段
G01Q30/10	温度環境
G01Q30/12	流体環境
G01Q30/14	液体環境
G01Q30/16	真空環境
G01Q30/18	外部の環境条件または影響からサンプルチェンバーの内部を保護しあるいは隔離するための手段
G01Q30/20	試料の取扱装置または手段
G01Q40/00	キャリブレーション，例．プローブのキャリブレーション
G01Q40/02	キャリブレーションの基準またはその製造方法
G01Q60/00	特定の型のＳＰＭ[走査プローブ型顕微鏡]またはそのための装置；その基本的な構成部品
G01Q60/02	マルチタイプＳＰＭ，すなわち２つまたはそれ以上のＳＰＭ技術を使用するもの
G01Q60/04	ＳＴＭ[走査型トンネル顕微鏡法｝とＡＦＭ[原子間力顕微鏡法｝の組合せ
G01Q60/06	ＳＮＯＭ[近視野光学顕微鏡法｝とＡＦＭ[原子間力顕微鏡法｝の組合せ
G01Q60/08	ＭＦＭ[磁気力顕微鏡法｝とＡＦＭ[原子間力顕微鏡法｝の組合せ
G01Q60/10	ＳＴＭ[走査型トンネル顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＴＭ用プローブ
G01Q60/12	ＳＴＳ[走査型トンネルスペクトロスコピー]
G01Q60/14	ＳＴＰ[走査型トンネルポテンショメトリー]
G01Q60/16	プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
G01Q60/18	ＳＮＯＭ[近視野光学顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＮＯＭ用のプローブ
G01Q60/20	蛍光
G01Q60/22	プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
G01Q60/24	ＡＦＭ[原子間力顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＡＦＭ用のプローブ
G01Q60/26	摩擦力顕微鏡法
G01Q60/28	凝着力顕微鏡法
G01Q60/30	走査型ポテンシャル顕微鏡法
G01Q60/32	ＡＣモード
G01Q60/34	タッピングモード
G01Q60/36	ＤＣモード
G01Q60/363	｛コンタクトモードのＡＦＭ｝
G01Q60/366	｛ナノインデンター，すなわち，インデンティング力が計測されるもの｝
G01Q60/38	プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
G01Q60/40	導電性プローブ
G01Q60/42	機能化
G01Q60/44	ＳＩＣＭ[走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＩＣＭ用のプローブ
G01Q60/46	ＳＣＭ[走査型キャパシタンス顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＣＭ用のプローブ
G01Q60/48	プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
G01Q60/50	ＭＦＭ[磁気力顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＭＦＭ用のプローブ
G01Q60/52	磁気共鳴
G01Q60/54	プローブまたはその製造または関連する器具類，例．プローブホルダー
G01Q60/56	磁気コーティングされたプローブ
G01Q60/58	ＳＴｈＭ[走査型熱顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＴｈＭ用のプローブ
G01Q60/60	ＳＥＣＭ[走査型電気化学顕微鏡法]またはそのための装置，例．ＳＥＣＭ用のプローブ
G01Q70/00	ＳＰＭプローブの一般的観点またはその製造または関連する器具類で，グループＧ０１Ｑ６０／００に包含される単一のＳＰＭ技術に特に適合していないもの
G01Q70/02	プローブホルダー
G01Q70/04	温度・震動に誘引されたエラーの補償のあるもの
G01Q70/06	プローブチップアレイ
G01Q70/08	プローブの特性
G01Q70/10	形状またはテーパ
G01Q70/12	ナノチューブチップ
G01Q70/14	特定の物質
G01Q70/16	プローブの製造
G01Q70/18	機能化
G01Q80/00	ＳＰＭを除く走査プローブ技術の応用（マイクロ構造の製造または処理Ｂ８１Ｃ；ナノ構造物の製造または処理Ｂ８２Ｂ３／００；近接場相互作用を用いる情報の記録と再生Ｇ１１Ｂ９／１２，Ｇ１１Ｂ１１／２４，Ｇ１１Ｂ１３／０８）
G01Q90/00	他に分類されない走査プローブ技術または装置
