B81B1/00	可動の，または可撓性の要素がない装置，例．マイクロ毛細管装置
B81B1/002	｛その形状に特徴のある孔，縦方向の平面または断面内のいずれか一方にあるもの｝
B81B1/004	｛貫通孔，すなわちウェーハの一方の面から他方の面に延在するもの｝
B81B1/006	｛単一の均質片として形成されるマイクロ装置，すなわち機械的な機能が装置の使用により得られるもの，例．カッター｝
B81B1/008	｛マイクロチップ｝
B81B3/00	可撓性の，または変形可能な要素，例．弾性上のある舌片または薄膜，からなる装置（Ｂ８１Ｂ５／００が優先）
B81B3/0002	｛弾性部または可動部の粘着を回避するための装置｝
B81B3/0005	｛スティクション防止膜｝
B81B3/0008	｛静電吸着を防止，例．帯電を防止，するための構造｝
B81B3/001	｛減少された接触面積を有する構造，例．突起またはテクスチャ表面を有する構造｝
B81B3/0013	｛スティクションを機械的に防止するために設計された構造，例．増加された剛性のばね｝
B81B3/0016	｛Ｂ８１Ｂ３／０００５〜Ｂ８１Ｂ３／００１３に分類されない弾性部または可動部の粘着を回避するための装置｝
B81B3/0018	｛可動要素または弾性要素に作用しエネルギーを機械的運動または機械的運動をエネルギーに変換する構造，すなわちアクチュエータ，センサー，発電機｝
B81B3/0021	｛電気エネルギーを機械的エネルギーにまたは逆方向に変換するトランスデューサ（発電機，電動機Ｈ０２Ｋ５７／００；静電機械Ｈ０２Ｎ１／００；圧電デバイスＨ０１Ｌ４１／００）｝
B81B3/0024	｛熱エネルギーを機械的エネルギーにまたは逆方向に変換するトランスデューサ（熱効果を使用した電気モータＨ０２Ｎ１０／００）｝
B81B3/0027	｛機械的エネルギーを変換する構造，例．ばねの位置エネルギーを変換するもの，音を変換するもの｝
B81B3/0029	｛光を機械的エネルギーにまたは逆方向に変換するトランスデューサ｝
B81B3/0032	｛Ｂ８１Ｂ３／０００５〜Ｂ８１Ｂ３／００１３に分類されないエネルギーを変換する構造｝
B81B3/0035	｛可動要素または弾性要素の運動を制御するための構成または構造手段｝
B81B3/0037	｛ストロークを増加させるためのもの，すなわち動作される部材の大きな配置を実現するもの｝
B81B3/004	｛角運動｝
B81B3/0043	｛角運動を増加させるもの｝
B81B3/0045	｛角振動に関連する特性を改良するもの，例．共振周波数の制御｝
B81B3/0048	｛Ｂ８１Ｂ３／００４３〜Ｂ８１Ｂ３／００４５に分類されない可動要素または弾性要素の角運動を制御するための構成または構造手段｝
B81B3/0051	運動を規定するためのもの，すなわち要素の運動をガイドまたは制限する構造（振動または衝撃を防止または減衰させるための機械的装置Ｈ０１Ｈ３／６０）
B81B3/0054	｛所定の位置に要素を保持または位置させるためのもの｝
B81B3/0056	｛少なくとも一つが可動である二つの要素の距離を調整するもの，例．空隙調整｝
B81B3/0059	｛Ｂ８１Ｂ３／００３７〜Ｂ８１Ｂ３／００５６に分類されない可動要素または弾性要素の運動を制御するための構成または構造手段｝
B81B3/0062	｛二次元以上に移動する装置，すなわち一次元以上の移動を許容する特殊機構をもつもの｝
B81B3/0064	｛デバイスの物理的特性を改良または制御するための構成または構造的手段｝
B81B3/0067	｛機械的特性｝
B81B3/007	｛剛性を制御するもの，例．リブ｝
B81B3/0072	｛可動要素または弾性要素の内部応力または内部ひずみを制御するためのもの，例．応力補償層｝
B81B3/0075	｛耐久性を改良するためのもの｝
B81B3/0078	｛Ｂ８１Ｂ３／００７〜Ｂ８１Ｂ３／００７５に分類されない機械的特性を改良または制御するための構成または構造的手段｝
B81B3/0081	｛熱特性｝
B81B3/0083	｛光学的特性｝
B81B3/0086	｛電気的特性，例．駆動電圧の低減，ピーク電圧に対する抵抗の改良｝
B81B3/0089	｛化学または生物学的特性，例．表面を化学的に活性化する層｝
B81B3/0091	｛磁気的特性，例．磁気フラックスのガイド｝
B81B3/0094	｛Ｂ８１Ｂ３／００６７〜Ｂ８１Ｂ３／００９１に分類されない物理的特性を改良または制御するための構成または構造的手段｝
B81B3/0097	Ｂ８１Ｂ３／０００２〜Ｂ８１Ｂ３／００９４に分類されない弾性要素または変形可能要素からなるデバイス
B81B5/00	相互に移動可能な要素，例．スライド可能なまたは回転可能な要素，からなる装置
B81B7/00	マイクロ構造システム；　｛マイクロ構造装置またはシステムの補助部分｝
B81B7/0003	｛ヒンジされた要素を自動的に組み立てるためのＭＥＭＳメカニズム（セルフアセンブリプロセスＢ８１Ｃ１／００００７）｝
B81B7/0006	｛相互連結｝
B81B7/0009	｛環境の影響からデバイスを保護するための，パッケージ以外の構造的特徴（Ｂ８１Ｃ１／００７７７が優先）｝
B81B7/0012	｛特定の脅威に対する防護，例．リバースエンジニアリング，無断使用，意図的でない使用，誤挿入またはピンアサインメント｝
B81B7/0016	｛衝撃または振動に対する防護，例．振動の減衰｝
B81B7/0019	｛熱変質または熱破壊に対する防護（Ｂ８１Ｂ７／００８３が優先）｝
B81B7/0022	｛静電放電に対する防護（電子半導体回路のための静電放電に対する防護Ｈ０１Ｌ２７／０２４８；過電流または過電圧に対するパルス技術のために使用される電子スイッチ回路を防護するための回路装置Ｈ０３Ｋ１７／０８）｝
B81B7/0025	｛化学変質に対する防護｝
B81B7/0029	｛Ｂ８１Ｂ７／００１２〜Ｂ８１Ｂ７／００２５に分類されない環境の影響に対する防護｝
B81B7/0032	｛パッケージまたは封止（ＭＥＭＳをパッケージングするためのプロセスＢ８１Ｃ１／００２６１；スマートＭＥＭＳのパッケージングＢ８１Ｃ１／００２３）｝
B81B7/0035	｛ＭＥＭＳを有するチャンバー内部の制御された雰囲気を維持するためのもの｝
B81B7/0038	｛圧力，汚染物または湿度のレベルを制御するための材料，例．ゲッター，を使用するもの｝
B81B7/0041	｛Ｂ８１Ｂ７／００３８に分類されない技術により制御された雰囲気を維持するもの｝
B81B7/0045	｛パッケージ構造の内部の応力を減少させるためのもの｝
B81B7/0048	｛ＭＥＭＳダイと基板との間の応力｝
B81B7/0051	｛パッケージ蓋と基板との間の応力｝
B81B7/0054	｛Ｂ８１Ｂ７／００４８〜Ｂ８１Ｂ７／００５１に分類されないその他の部材間の応力｝
B81B7/0058	｛外部からの化学的または機械的影響，例．衝撃または振動，によるダメージに対して保護するためのもの｝
B81B7/0061	｛ＭＥＭＳからパッケージの外部にまたは逆に流体を輸送することに適したもの，例．液体，ガス，音の輸送｝
B81B7/0064	｛電磁気的な干渉または静電的な干渉に対する防護のためのもの｝
B81B7/0067	｛パッケージを通過する光学信号の流れを制御するためのもの｝
B81B7/007	｛ＭＥＭＳと外部電気信号との間の相互連結｝
B81B7/0074	｛三次元パッケージ，すなわち一つまたは複数のＭＥＭＳデバイスをマウント基板の非平行面に配置したもの｝
B81B7/0077	｛Ｂ８１Ｂ７／００３５〜Ｂ８１Ｂ７／００７４のグループに分類されないその他のパッケージ｝
B81B7/008	｛同じものを制御または駆動するのにに特に適合した電子回路に特徴があるＭＥＭＳ（Ｂ８１Ｂ７／００８７が優先；アクチュエータを始動，制御，制動または他の制御するための装置Ｈ０２Ｎ；表示装置の制御装置または制御回路Ｇ０９Ｇ３／００）｝<br><br><u>注</u><br> <br>このグループは，所定の用途に特定されない電子回路を有するＭＥＭＳのみを包含する：このグループは，電子回路それ自体，例．特定の用途のＭＥＭＳを制御または駆動するための電子回路それ自体，を包含しない
B81B7/0083	｛温度調整｝
B81B7/0087	｛制御，規制または監視用の装置に内蔵されたシステムまたはセンサー｝
B81B7/009	｛加熱または冷却による一定温度の維持｝
B81B7/0093	｛冷却によるもの｝
B81B7/0096	｛加熱によるもの｝
B81B7/02	その機能に特に適した，別体の電気的または光学的装置を含むもの，例．マイクロ電気機械装置（ＭＥＭＳ）　（Ｂ８１Ｂ７／０４が優先）
B81B7/04	同種のマイクロ構造装置のネットワーク，または配列　
B81B2201/00	微小電気機械システムの特定の用途
B81B2201/01	スイッチ
B81B2201/012	形状に特徴があるもの
B81B2201/014	一方の側が固定され，一つまたは複数のくぼみに結合されたカンチレバーを有するもの
B81B2201/016	両端が固定され，一つまたはそれ以上のくぼみに結合されたブリッジを有するもの
B81B2201/018	Ｂ８１Ｂ２２０１／０１４〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０１６に分類されないスイッチ
B81B2201/02	センサー
B81B2201/0207	気圧計
B81B2201/0214	バイオセンサー；化学センサー
B81B2201/0221	可変容量キャパシタ
B81B2201/0228	慣性センサー
B81B2201/0235	加速度計
B81B2201/0242	ジャイロスコープ
B81B2201/025	Ｂ８１Ｂ２２０１／０２３５〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０２４２に分類されない慣性センサー
B81B2201/0257	マイクロフォンまたはマイクロスピーカー
B81B2201/0264	圧力センサー
B81B2201/0271	共振器；超音波共振器
B81B2201/0278	温度センサー
B81B2201/0285	振動センサー
B81B2201/0292	Ｂ８１Ｂ２２０１／０２０７〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０２８５に分類されないセンサー
B81B2201/03	マイクロエンジンおよびアクチュエータ
B81B2201/031	熱アクチュエータ
B81B2201/032	バイモルフおよびユニモルフアクチュエータ，例．ピエゾおよび熱
B81B2201/033	櫛歯駆動
B81B2201/034	電気回転マイクロマシン
B81B2201/035	マイクロギア
B81B2201/036	マイクロポンプ
B81B2201/037	マイクロトランスミッション
B81B2201/038	Ｂ８１Ｂ２２０１／０３１〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０３７に分類されないマイクロエンジンおよびアクチュエータ
B81B2201/04	光ＭＥＭＳ
B81B2201/042	光スイッチとして使用されないマイクロミラー
B81B2201/045	光スイッチ
B81B2201/047	Ｂ８１Ｂ２２０１／０４２〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０４５に分類されない光ＭＥＭＳ
B81B2201/05	マイクロ流体デバイス
B81B2201/051	マイクロミキサー，マイクロリアクター
B81B2201/052	インクジェットプリントカートリッジ
B81B2201/054	マイクロバルブ
B81B2201/055	マイクロニードル
B81B2201/057	マイクロピペット，液滴形成器
B81B2201/058	Ｂ８１Ｂ２２０１／０５１〜Ｂ８１Ｂ２２０１／０５４に分類されないマイクロ流体デバイス
B81B2201/06	バイオＢＥＭＳ
B81B2201/07	データ記録デバイス，静的または動的メモリー
B81B2201/10	マイクロフィルター，例．ガス用または流体用
B81B2201/11	ハードディスクまたは光ディスクのための読み込みヘッド，書き込みヘッドまたはマイクロ位置決め装置
B81B2201/12	ＳＴＭまたはＡＦＭのマイクロティップ
B81B2201/13	機械的なコネクター，すなわち電気コネクターとして機能しないもの
B81B2203/00	基本的なマイクロ電気機械構造
B81B2203/01	懸架された構造，すなわち運動を許容する構造
B81B2203/0109	ブリッジ
B81B2203/0118	カンチレバー
B81B2203/0127	ダイアフラム，すなわち一方から他方への媒体の流れを制御することができる分離構造，メンブレン，すなわちフィルター機能を有するダイアフラム
B81B2203/0136	櫛歯構造
B81B2203/0145	可撓性の支持部材
B81B2203/0154	トーションバー
B81B2203/0163	ばね支持部材
B81B2203/0172	Ｂ８１Ｂ２２０３／０１５４〜Ｂ８１Ｂ２２０３／０１６３に分類されない可撓性の支持部材
B81B2203/0181	シーソー
B81B2203/019	形状に特徴があるもの
B81B2203/03	静的な構造
B81B2203/0307	アンカー
B81B2203/0315	キャビティ
B81B2203/0323	溝
B81B2203/033	トレンチ
B81B2203/0338	通路
B81B2203/0346	Ｂ８１Ｂ２２０３／０３３〜Ｂ８１Ｂ２２０３／０３３８に分類されない溝
B81B2203/0353	穴
B81B2203/0361	ティップ，柱
B81B2203/0369	形状に特徴があるもの
B81B2203/0376	丸い形状
B81B2203/0384	傾斜形状
B81B2203/0392	Ｂ８１Ｂ２２０３／０３７６〜Ｂ８１Ｂ２２０３／０３８４に分類されない形状
B81B2203/04	電極
B81B2203/05	運動のタイプ
B81B2203/051	基板に平行な軸に沿った運動
B81B2203/053	基板に垂直な軸に沿った運動
B81B2203/055	基板に平行な面内の運動，すなわち面内のいかなる方向へも運動可能なもの
B81B2203/056	基板に平行な面内の回転
B81B2203/058	基板に平行な面外への回転
B81B2203/06	相互に移動可能，例．スライド可能または回転可能，な要素からなるデバイス
B81B2207/00	マイクロ構造システムまたはその補助部分｝
B81B2207/01	制御または処理電子部品に結合されたマイクロ機械デバイスからなるもの，すなわちスマートＭＥＭＳ
B81B2207/012	マイクロ機械デバイスおよび制御または処理電子部品が同じパッケージ内にあるもの
B81B2207/015	マイクロ機械デバイスおよび制御または処理電子部品が同じ基板上にあるもの
B81B2207/017	Ｂ８１Ｂ２２０７／０１２〜Ｂ８１Ｂ２２０７／０１５に分類されないスマートＭＥＭＳ
B81B2207/03	応用指向でないマイクロ機械デバイスのための電子回路，例．制御，電力供給，テスト，保護
B81B2207/05	アレイ
B81B2207/053	可動構造物のアレイ
B81B2207/056	静的構造物のアレイ
B81B2207/07	相互連結
B81B2207/09	パッケージ
B81B2207/091	外部電気信号をパッケージ内の機械構造に伝達するための装置
B81B2207/092	基板内または蓋内に埋め込まれた相互結合
B81B2207/093	導電パッケージシール
B81B2207/094	フィードスルー，ビア
B81B2207/095	蓋を通過するもの
B81B2207/096	基板を通過するもの
B81B2207/097	基板または蓋上に配置され，パッケージシールに覆われる相互結合
B81B2207/098	Ｂ８１Ｂ２２０７／０９２〜Ｂ８１Ｂ２２０７／０９７に分類されない装置
B81B2207/11	環境の影響からデバイスを保護するための，パッケージ以外の構造的特徴
B81B2207/115	パッケージング前にデバイスに直接適用される保護層
B81B2207/99	Ｂ８１Ｂ２２０７／０１〜Ｂ８１Ｂ２２０７／１１５に分類されないマイクロ構造システムまたはその補助部分
